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Sobre

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O laboratório de microfabricação explora técnicas de microfabricação topo-base tradicionais e não tradicionais baseadas em processos de escrita direta a laser para apoiar as atividades de outras áreas.

Por exemplo, os chips microfluídicos são produzidos para implementar biossensores e micro e nanoestruturas. As redes de Bragg são fabricadas através de escrita direta a laser para implementar novas cabeças de sensoriamento que levarão ao desenvolvimento de cabeças de sensoriamento melhores e mais fiáveis.

Áreas de Investigação

Áreas de Investigação

  • Inscrição direta tridimensional de guias de ondas e dispositivos integrados complexos;
  • Fabricação de redes de Bragg utilizando métodos ponto a ponto (estruturas de primeira ordem);
  • Fabricação de dispositivos microfluídicos utilizando técnicas FLICE;
  • Fabricação de dispositivos optofluídicos para aplicações de sensoriamento;
  • Micromaquinagem de materiais.
Equipamentos

Equipamentos

Laser de femtosegundo e caracterização de dispositivos integrados

A peça central deste laser é um laser Satsuma com um módulo de geração de harmónicos (1030, 515 e 346 nm, 220 fs, 12 W de potência média no comprimento de onda fundamental, taxa de repetição de até 2MHz) acoplado a dois aparelhos de fabricação para escrita direta a laser: um destinado ao processamento de fibras óticas e outro destinado à escrita a laser de substratos planares.

Unidade de escrita direta a laser 3D para substratos planares

Este sistema é composto por quatro blocos principais: controlo de potência, controlo de polarização e expansão do feixe, cabeça de escrita, posicionamento de amostras e imagiologia. O movimento X-Y é assegurado por duas plataformas ABL1000 da Aerotech enquanto a lente de escrita está montada numa plataforma “z” piezoelétrica da PI com um comprimento de deslocação de 400m. Este sistema é controlado com software desenvolvido internamente.

Sistema de escrita a laser para redes de Bragg em fibras óticas

O sistema para processamento de fibras é baseado numa plataforma ABL1000 linear da Aerotech onde a fibra é montada e tem os mesmos blocos do sistema para formatos planares. O sistema é totalmente controlado utilizando software escrito em LabVIEW.

Sistema de caracterização de dispositivos óticos integrados

Este sistema é baseado num sistema de posicionamento multiaxial MDE881 - Elliot Gold™ Series Professional Workstation para o acoplamento de dispositivos de fibra a uma unidade DALi de piezocontrolo com funcionalidade de alinhamento automático. O sistema tem vários comprimentos de onda (1550 sintonizável, 1300, 830 e 633 nm), controlo de polarização, câmara de infravermelhos para definição de perfis de modo, múltiplos fotodetetores, fonte de endurecimento por raios ultravioletas e componentes para fixação de blocos de acoplamento em ranhuras em V.

Centros e Stakeholders

INESC TEC

CAP
CentroCentro de Fotónica Aplicada

Stakeholders

FEUP
UniversidadeFaculdade de Engenharia da Universidade do Porto
FCUP
UniversidadeFaculdade de Ciências da Universidade do Porto
002

Projetos

CORAL-TOOLS-1

CORAL - Sustainable Ocean Exploitation: Tools and Sensors

2016-2018

NanoStima-RL1

NanoSTIMA - Macro-to-Nano Human Sensing Technologies

2015-2018

Protótipos

Protótipos desenvolvidos no Laboratório Microfabricação

Arrayed waveguide gratings (AWG) wavelength division (de)multiplexers

Fiber Bragg and long period gratings

Contactos